現状の微細加工技術の限界を超える!ナノインプリントリソグラフィー

現状の微細加工技術の限界を超える!ナノインプリントリソグラフィー
【最新研究映像 NIMSの力 27】
物質に対して微細な加工をおこなう技術が広く実用化されている分野は半導体加工ですが、現在実用化されている「光リソグラフィー」や「電子線リソグラフィー」でも困難だったごく微細なスケールのパターンを、しかも短時間で可能にする技術をNIMSと東北大が可能にしました。

原理はとても単純、スタンプを押すこと。
ナノインプリントリソグラフィーという新技術です。
成功の秘訣は、金属とレジスト樹脂を結びつけるプライマーにありました。

この新技術を使って、既に光メタマテリアルという負の屈折率をもつパターンを刻むことにも成功しています。

どんな仕組みなのか、ご紹介します。

現状の微細加工技術の限界を超える!ナノインプリントリソグラフィー

コメント

タイトルとURLをコピーしました